早期會用徑路分析 (path analysis，或譯為因徑分析)，現在則多半採用結構方程模式
(structural equation
modeling, SEM)。SEM整合CFA因素分析與徑路分析以下兩點的功能，擴大
潛在變項的應用範圍。
CFA用來萃取構念，反映構念效度/內容效度；及效度上，運用潛在變項LVM（latent variable modeling）檢驗效標關聯效度。
徑路分析應用於效標預測。
所謂CFA（confirmatory factor
analysis）驗證性因素分析，屬新式因素分析，研究之初就有一理論/或特定的結構假設，，此時因素分析可以用來確認統計資料模式是否是研究者所預期的。